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鍺烷特氣系統在半導體集成電路中的作用

　　隨著信息(xi)時代(dai)的不斷進步，半導(dao)體(ti)等電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)行(xing)業(ye)(ye)越來越重要，其中，電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)氣體(ti)作為電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)行(xing)業(ye)(ye)支撐性(xing)原料(liao)，其質量決(jue)定了電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)產品(pin)的性(xing)能。鍺(zang)(zang)烷(wan)就(jiu)是一種(zhong)重要的電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)工業(ye)(ye)用原料(liao)氣體(ti)，是制造(zao)高(gao)純鍺(zang)(zang)和(he)各種(zhong)硅鍺(zang)(zang)合金的重要原材料(liao)，同時，因(yin)其危險的氣體(ti)性(xing)質，供(gong)氣和(he)使用都(dou)需通過特氣系統來實現。

　　什么是鍺烷？

　　鍺烷(wan)（GeH4）是一(yi)種(zhong)無色(se)、劇毒、可自燃、非(fei)腐(fu)蝕性氣體。關于鍺烷(wan)的氣體性質，熱(re)穩(wen)定差(cha)，較高(gao)溫度時（大概280℃）會分(fen)解(jie)成鍺和(he)氫(qing)氣；自催(cui)化性很(hen)強，易發生分(fen)解(jie)爆炸，危險性很(hen)高(gao)！

　　鍺烷的用途

　　鍺(zang)烷(wan)（GeH4）是制造高純(chun)鍺(zang)和(he)各種硅(gui)鍺(zang)合金(jin)的重(zhong)要原(yuan)(yuan)材料，主要用于半導體,光伏太陽能和(he)集成電路行(xing)業。比如(ru)，在(zai)MOCVD（金(jin)屬有機物化學氣相(xiang)沉積）工(gong)藝中，鍺(zang)烷(wan)（GeH4）常和(he)硅(gui)烷(wan)，通過特氣系統(tong)的輸送，作為氣體原(yuan)(yuan)材料，生(sheng)成硅(gui)-鍺(zang)薄膜。

　　在半導體(ti)集成電路電子器件制造中(zhong)，鍺烷作為(wei)硅-鍺(Si-Ge)膜的(de)(de)前(qian)驅氣體(ti)，參與(yu)制造。如在異(yi)質結二極(ji)晶(jing)體(ti)管（HBT）中(zhong)，薄(bo)硅鍺層作為(wei)二極(ji)晶(jing)體(ti)管的(de)(de)基底生(sheng)長(chang)在硅片上(shang)，與(yu)傳(chuan)統的(de)(de)硅二極(ji)晶(jing)體(ti)管相比，硅-鍺HBT在速度、響應頻率和(he)增益上(shang)具有明顯(xian)的(de)(de)優勢，其速度和(he)頻率響應可以與(yu)更昂貴的(de)(de)鎵(jia)-砷HBT相比。

　　鍺烷特氣系統的作用

　　作為半導體行業的常用電(dian)子氣(qi)體，大多(duo)都是危險性氣(qi)體，如硅烷(wan)(wan)、鍺烷(wan)(wan)。這(zhe)些特殊氣(qi)體如果使(shi)(shi)用普通(tong)的的供氣(qi)系(xi)統，會具(ju)有很大的危險，容易(yi)導致事故的發生(sheng)，威脅到生(sheng)產(chan)人員安(an)全(quan)。所以(yi)需要使(shi)(shi)用一種對安(an)全(quan)性有著(zhu)更高要求的供氣(qi)系(xi)統，也就是電(dian)子特氣(qi)系(xi)統。

　　鍺烷特氣(qi)系統(tong)由(you)鍺烷特氣(qi)柜、氣(qi)體(ti)閥門分配箱(xiang)VMB、耐腐蝕的(de)316L不銹(xiu)鋼(gang)管路及氣(qi)體(ti)泄(xie)漏監測報警系統(tong)組成，主要(yao)的(de)作用是保(bao)護氣(qi)體(ti)的(de)純度、安全、提供穩定的(de)氣(qi)體(ti)壓力和不間(jian)斷供氣(qi)。

　　以上，就是關于(yu)鍺烷(wan)及鍺烷(wan)特氣系(xi)統的簡單介(jie)紹，除此之外，鍺廣泛應用與紅外光學(xue)、光纖、催化劑、醫藥(yao)、食品等領域(yu)，而鍺烷(wan)是高純單質(zhi)鍺的重要來源之一。

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